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更安全更穩定的真空,交給英格索蘭NASH真空系統!

更新時間:2021/7/9       瀏覽:269次

功率半導體是制造業核心基礎器件,是支撐經濟社會發展的戰略性、基礎性和先導性產業,隨著汽車電動化、智能化、網聯化等發展,汽車電子迎來結構性變革機會。株洲中車時代電氣是中國中車旗下企業,產業涉及高鐵、機車、城軌、軌道工程機械、通信信號、大功率半導體、傳感器、海工裝備、新能源汽車、環保、通用變頻器等多個領域。一直以來,NASH的品牌和專業服務在株洲中車時代電氣得到了深度認可。從IGBT,SiC碳化硅,到汽車組件配套項目,所有的工藝真空全部采用了NASH真空泵系統,不但性能優越,而且安全可靠,確保365天連續無休運行。

作為新能源汽車及其他工業領域重要的基礎性產品,功率半導體具有安全、環保、高效、低耗等優勢。半導體行業中的蒸發,濺射,PECVD,真空干法刻蝕,真空吸附,測試設備,機械手,自動化真空清掃等鍵合工序里所需用真空為生產真空(中高真空);清掃真空(粗真空);工藝真空(粗真空)。部分還有要求真空泵向被抽空間內的返流為零,以保護工件免受污染。工藝真空主要利用負壓吸附進行工件搬運或夾持,清掃真空主要利用負壓與大氣壓差進行液體或顆粒的清除或輸送,此類應用中液環真空泵和多級離心風機是非常關鍵的生產輔助設備。

半導體行業的工藝特性,要求系統絕對無油,對設備的穩定性和可靠性要求也比較高。 作為英格索蘭壓力與真空事業部旗下核心品牌,NASH液環真空泵安全可靠,100%無油,完全滿足半導體行業的工藝真空要求。株洲中車時代電氣擁有一流的功率半導體生產線,形成從設計、制造、封裝與測試等全套能力。其中總投資35億元的株洲中車時代電氣汽車組件配套建設項目,選用了2套NASH 2BW液環真空系統,目前設備安裝調試完畢,機組運行穩定。該項目全部產能將用于新能源汽車用基材及組件生產,整體提升了時代電氣功率半導體工藝平臺及生產制造能力,滿足新能源汽車領域巨大市場需求,進一步做大做強做優功率半導體產業。

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我國每年約消耗全球40%的功率半導體器件,是全球最大的功率半導體需求國。除在新能源汽車領域外,功率半導體產品還可以為智能電網、新能源發電、智能家電等工業領域帶來新的發展動力。隨著高鐵技術自主化進程,尤其芯片和半導體的國產化,未來NASH將持續跟進,提供創新的產品和服務,助力半導體產業快速穩健發展。

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